1,氧化物分解，活化工件表面。當(dāng)真空度低于金屬或合金的相應(yīng)氧化物的分解壓力時，其氧化物會發(fā)生分解，形成游離氧排出，使工件表面質(zhì)量進(jìn)一步提高，可活化工件表面。

　　2,脫氣作用，提高被處理工件的力學(xué)性能和使用壽命。因為鋼鐵在冶煉時會吸氣（H2、N2、CO等），從而產(chǎn)生微小氣孔和氫脆，用真空技術(shù)可以將工件內(nèi)的水分等不純氣體抽掉，使工件表面清潔光亮，不易發(fā)生氫脆。且因表面質(zhì)量得到改善，工件耐磨性提高，其使用壽命可以提高30%～120%。

　　3,實(shí)現(xiàn)清潔光亮。工件在低于大氣壓的壓力下加熱時，不接觸空氣，不發(fā)生表面變化。將爐內(nèi)抽真空到0.1～1Pa時，工件內(nèi)的雜質(zhì)含量可以降低到1.5ppm（1ppm=0.0001%），所以工件實(shí)現(xiàn)了清潔光亮淬火的目的。

　　4,工件真空淬火后畸變小。如外徑65mm，壁厚2mm的9Cr18向心軸承套圈，經(jīng)真空淬火后，其橢圓度較普通熱處理減小到1/8～1/9。

　　5,減少熱處理后的機(jī)加工余量。真空熱處理后沒有氧化脫碳現(xiàn)象，畸變很小，所以熱處理后可以減少加工甚至免去機(jī)加工。